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P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延的技术方法
发布时间:2020-07-08     作者:zhn   分享到:

P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延的技术方法

 

西安齐岳生物科技有限公司提供各种进口或者国产的薄膜,尺寸可定制;各种基底的薄膜;品质高;有关技术资料欢迎咨询。同时提供各种二维材料;石墨烯、氮化硼、二硫化钼、CVD生长的薄膜、晶体、异质结、薄膜(蓝宝石、PET、铜膜、石英、云母、银膜、SOI基底、Si玻璃基底)等材料。

 

4HSiC4H-SiC产品描述:

六方结构的4HSiC4H-SiC)具有高临界击穿电场、高电子迁移率的优势,是制造高压、高温、抗辐照功率半导体器件的优良半导体材料,也是目前综合性能比较好、商品化程度高、技术成熟的第三代半导体材料

 

P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延的基本信息


产品名称

P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延

产品名称:

4H-SiC上镀4H-SiC薄膜P

常规尺寸:

dia4" ±0.5 mm  x 0.525 ±0.025 mm

4H-SiC薄膜厚度:

4.3um ±10%

4H-SiC薄膜厚度:

1.4E17/cc +0% /- 30%

载流子浓度:

(3~ 10)E16 /cc

导电类型:

P型

抛光情况:

双面抛光

4H-SiC基片尺寸:

dia 2 inch x330±25un

4H-SiC基片电阻率:

< 0.03 ohm-cm

4H-SiC抛光:

Si面CMP单抛

标准包装

超净袋真空包装或单片盒装

生产厂家

西安齐岳生物科技有限公司

 

 

SiC外延膜实物图:

image.png

碳化硼SiC的外延生长的方法包括以下几种

1)化学气相淀积CVD:(分为CVDHTCVD高温两种)

2)升华或物理气相传输法PVT(分为Lely熔法/LETI和升华三明治法)

3)分子束外延MBE

4)液相外延LPE:(又包含Si溶剂和其他溶剂两种)

image.png

 

化学气相淀积CVD法是制造先进外延结构的方法。反应器中的压力可以通过气体产生,低压化学气相淀积LPCVD,压力为10~1000mbar,低压可以减小气相成核,SiC一般使用较为广泛。这种方法的产量非常高。外延生长过程中,气相SiC的比例会影响生长速率、外延层的质量以及杂质的掺入,CVD的一个优势便是可以在生长过程中很好地控制Si/C比。目前,对于SiC外延层仍然存在各种缺陷,从而对器件特性造成影响,所以针对SiC的外延生长工艺需要进行不断的优化,同时整个SiC器件的生产工艺以及设备也是后期不断关注的话题。

 

image.png

 

西安齐岳生物供应薄膜产品列表

Ag膜

ITO膜

Si3N4膜

Al膜

InAlAs膜

SOS膜

AlN膜

InGaAs膜

SOI膜

Au膜

InGaP膜

SiC 4H 膜P型

AlGaN膜

ITO+ZnO

SiC 3C膜

BN氮化硼薄膜

La0.7Sr0.3MnO3/Pb0.19Zr0.2Ti0.8O3

SiO2膜

Ba1-xSrxTiO3膜

La0.7Sr0.3MnO3/ PbZr(x)Ti(1-x)O3

SrTiO3膜

BiFeO3膜

SiO2+Pt 薄膜

YBCO膜

Cu铜膜

SrMoO4薄膜

YIG膜

CeO2膜

LaFeO3膜

ZnO膜

Diamond金刚石膜

LaNiO3膜

掺杂ZnO膜

FTO导电膜

La1-xSrxMnO3膜

SrRuO3薄膜

GOI膜

La1-xSrxTiO3膜

TiO2薄膜

GaAs膜

La2Zr2O7膜

ZnO/Au/Cr薄膜

GaN膜

Mo膜

ZnO/SiO2复合薄膜

Ga2O3-ß膜

MoS2膜

ZnO/钠钙玻璃薄膜

Ge膜

Ni膜

ZnO/Pt/T复合薄膜

Graphene石墨烯

Pt膜


Ag膜

ITO膜

Si3N4膜

Al膜

InAlAs膜

SOS膜

AlN膜

InGaAs膜

SOI膜

 

以上资料源于西安齐岳生物科技有限公司

如有其他信息或产品信息咨询请咨询我们

西安齐岳生物科技有限公司

Xi'an qiyue Biological Technology Co;Ltd





【公司简介】:

德尔塔(Delta) 是西安齐岳生物科技有限公司旗下品牌,德尔塔(Delta) 目前经营的产品主要有合成磷脂,PEG衍生物,嵌段共聚物,纳米金,磁性纳米颗粒,介孔二氧化硅,活性荧光染料,荧光量子点,点击化学和大环配体等等,这些产品在国内给数百家高校实验室和数十家中科研研究所及药厂长期供应,德尔塔(Delta) 成立之初以代理国外进口品牌的为主,产品主要涉及磷脂、PEG衍生物等产品,随着公司的发展和扩大,公司更注重自主品牌的建立和高附加值的高端产品研发并且注册了自己品牌商标,在未来3-5年公司预计将建立一个综合型的大型实验室,该实验室不仅提供全方面的纳米靶向药物科研产品及定制外包服务,还将承接其他研究领域的科研产品和定制外包服务,预计该实验室还将与国内数十家大型药厂进行前期药物研发的科研合作,为药厂提供科研产品及技术服务,在研发阶段协助药厂开发抗肿瘤新药,一旦新药开发成功,在研发阶段积累的高端辅料产品和研发经验将支持我们建立一条药用辅料生产线给该肿瘤新药长期提供高端药用辅料。在高校和研究所科研领域上面公司不但要抢占国内市场还要开拓国际市场,国际业务以在2018年初开始启动,部分产品已远销欧美大陆,计划在未来3年-5年公司的拳头产品要抢占大量的国际市场,使得德尔塔(Delta) 品牌发展成一个国际品牌。

 

【经营种类】:

德尔塔(Delta) 经营的产品种类包括有:合成磷脂、高分子聚乙二醇衍生物、嵌段共聚物、磁性纳米颗粒、纳米金及纳米金棒、近红外荧光染料、活性荧光染料、荧光标记的葡聚糖BSA和链霉亲和素、蛋白交联剂、小分子PEG衍生物、点计化学产品、树枝状聚合物、环糊精衍生物、热门肿瘤原料药、大环配体类、荧光量子点、透明质酸衍生物、石墨烯或氧化石墨烯、碳纳米管、富勒烯,二氧化硅及介孔二氧化硅,聚合物微球,近红外荧光染料,聚苯乙烯微球,上转换纳米发光颗粒,MRI核磁造影产品,荧光蛋白及荧光探针等等。


【温馨提示】:

德尔塔(Delta)供应的产品仅用于科研,不能用于人体治疗、药物开发、和其他商业用途,如有购买方或第三方采购我公司的产品用于治疗、药物开发或商业用途,购买方或第三方将承担所有法律责任,我公司也将追究其法律责任。以上产品均可定购。


【运输说明】:


极低温产品:极低温产品运输过程中加装干冰运输。

低温产品:低温产品运输过程中加装冰袋运输。

常温产品:常温产品运输过程中无需加冰或者特殊包装。


【目前合作的部分科研单位】:

重庆医科大学,西南大学,第三军医大学,西南交通大学,重庆大坪医院,四川大学,华西医院,电子科技大学,哈尔滨工业大学,吉林大学,长春应化所,沈阳药科大学,中国海洋大学,北京大学,清华大学,北京理工大学,北京师范大学,北京中医药大学,中国农业大学,北京市肿瘤防治研究所,北京军事医学科学院,中国科学院动物研究所,中国科学院化学研究所,第四军医大学,西安交通大学,湖南大学,中南大学,武汉大学,武汉协和医院,华中科技大学,中山大学,广东药科大学,深圳大学,华南理工大学,中国科研学院先进技术研究院,厦门大学,福州大学,浙江大学,南京大学,南京医科大学,东南大学,中国药科大学,苏州大学,山东大学,山东师范大学,上海交通大学,华东理工大学,复旦大学,郑州大学,河南烟草局,宁夏医科大学,新疆大学,中国人民大学,中国科学院苏州纳米研究所,国家纳米科学中心,武汉病毒研究所,中国科学院过程工程研究所,江苏省原子医学研究所,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,中国医学科学院生物医学工程研究所等等

 

【目前合作过的药厂】:

石药集团中奇制药技术(石家庄)有限公司,西安力邦制药有限公司,上海药明康德新药开发有限公司,安徽省国平药业有限公司,苏州亚盛药业有限公司,兆科药业(合肥)有限公司,南京绿叶制药有限公司,山东绿叶制药有限公司,大冢(上海)药物研究开发有限公司,国药集团化学试剂有限公司,长春金赛药业有限责任公司,成都苑东药业有限公司,浙江海正药业等。


【地  址】:陕西省西安市雁塔区含光南路与丁白路交叉口美苑楼尚20F

【联  系】:张经理

【电  话】:18133906270

【邮  箱】:1525990437@qq.com

【网  站】:http://www.delta-f.com/
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